複合分子ポンプ TG553
油潤滑玉軸受タイプのターボ分子ポンプ
基本情報
【製品の特長】 ○腐食性ガスの排気に強いケミカル形 ○不意の大気突入に強い構造 ○外部からの衝撃に強い ○シリアル通信可能 ○安全規格認定取得 NRTL / SEMI-S2 ●その他機能や特長については、カタログをご覧頂くかまたはお問い合わせ下さい。
価格情報
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納期
型番・ブランド名
TG553
用途／実績例
半導体製造 電子銃排気、イオン源排気 FPD製造 表面処理、表面改質 各種電子部品製造 管球製造、光学部品製造 加速器、放射線施設、核融合研究 熱処理 研究開発 その他詳細はお問い合わせください
