省エネ型ドライ真空ポンプ ER100D/ER100DC
同クラスの中でもトップクラスの省エネルギー・小型・軽量を実現！
基本情報
【特徴】 ○省エネルギー、小型・軽量化を実現 ○省エネルギー対応 →到達圧力時消費電力：400W ○小型・軽量を実現 →設置面積：0.11m2（230×450mm） ○重量：60kg ○省ユーティリティ →冷却水量・バージガス量の削減 ○国際規格適合 ○用途に応じた製品仕様 →ER100D：軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適 →ER100DC：耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
価格情報
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納期
用途／実績例
【用途】 ○クリーンプロセス排気・腐食性ガス排気 →半導体・液晶・LED・その他一般産業 ○スパッタ装置粗引き ○TMPなど高真空ポンプの補助ポンプ ○ロードロック室、搬送室排気 ○小型実験装置排気 ○吸着搬送システム ○分析・測定装置の排気 ○小型炉排気 ○電子銃源、イオン銃源排気 ●詳しくはお問い合わせ、もしくはカタログをご覧ください。
