マグネトロンスパッタコーター SC-701MC
イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 フルオートマチックスパッタコーター
軽量コンパクトながら高い再現性をもつデスクトップスパッタコーター 【特徴】 ○イオンダメージを軽減するマグネトロンカソード採用 ○マグネトロンカソードが、質の高い薄膜作製に貢献 ○排気 → コーティング → 大気開放までフルオート ○電極用のスパッタ薄膜が手軽にコーティングできます
基本情報
【仕様】 〇ターゲットサイズ：φ49mm 〇適用可能ターゲット：Au/Au-Pd/Pt/Pt-Pd/Ag 〇試料サイズ：φ50mm(Max) 〇排気操作：自動 〇排気装置：直結型ロータリーポンプ 20L/min(自動リーク付) 〇スパッタ方式：DCマグネトロン/平行平板型 〇寸法(W/D/H)：225/420/320mm
価格情報
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価格帯
100万円 ~ 500万円
納期
応相談
型番・ブランド名
QUICK COOL COATER SC-701MC
用途／実績例
【用途】 ○電極用スパッタ薄膜の作成用途 ○反射膜作製用途 〇SEM用試料の前処理 etc.
