【装置制作事例】洗浄装置
処理チャンバー数は1～4！ウェハ材質はSiC、Si、GaAs、GaN、ガラス、LT基板
当社による「精密洗浄装置」の制作事例をご紹介いたします。 半導体のウエーハやハードディスク等精密部品の洗浄に使用される 枚様式で、パーティクルや薬液、金属などの汚染を洗浄。 ウエーハを1枚ずつ洗浄するため、多品種少量生産や高機能の洗浄に 適しています。 【製品仕様】 ■半導体ウェハ(SiC、GaN、シリコン、サファイア等)、MEMS ■ウェハ材質：SiC、Si、GaAs、GaN、ガラス、LT基板 ■ウェハサイズ：2～12インチ ■処理チャンバー数：1～4 ■薬液：最大2種類(オプション：3種類) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
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価格帯
納期
用途／実績例
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