薬液供給装置(キャニスタユニット) P82
酸系2薬液、アルカリ系1薬液の原液コンテナを収納しN2による加圧圧送により原液を供給するための装置です。
CMP装置の原液供給に使用されます。 【特長】 ■PTFE製バルブを使用 ■排気用ダンパーを内蔵 ※製品の詳細は、下記の「PDFダウンロード」ボタンよりご覧いただけます。 ※お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【仕様】 〇サイズ ・ W1500×D600×H1300(mm) ○薬液 ・酸系 H2O2、 HF ・アルカリ系 NH4OH 〇フィルター ・カプセルフィルター 0.1ミクロン、ポリスルホン製 ○バルブ ・エアオペレーションバルブ PTFE製 〇排気 ・ダンパー、マノメータ内蔵
価格情報
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納期
型番・ブランド名
P82
用途/実績例
【用途】 ■CMP装置の原液供給
ラインアップ(1)
型番 | 概要 |
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P82 |