オールメタルで構成された小型メタル炉
炉内がメタル材料で構成！断熱材などによる炉内の汚染を低減可能な加熱炉
「メタル炉」は、炉内の構成部材(ヒーター・断熱材・炉壁)をすべて タングステンやモリブデンなどの金属で構成した高性能加熱炉です。 通常のアルミナやカーボン製炉では避けられない微量コンタミネーションを 排除し、超高純度・高温・クリーンな焼成環境を実現。 特に、真空または不活性ガス雰囲気での超高温プロセスに適しています。 研究開発から量産まで、シビアな温度・雰囲気管理が求められる プロセスに対応します。 【特長】 ■高純度環境 ■高精度温度制御 ■超高温対応 ■真空・不活性雰囲気対応 ■低アウトガス・低発塵 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【原理】 ■加熱方式：タングステンやモリブデン製のヒーターを通電加熱し、金属の高い熱伝導性で炉内に均一な温度分布を形成 ■雰囲気制御：金属ヒーターは酸化しやすいため、真空または不活性ガス(N2、Arなど)で運転 ■クリーン構造：セラミック断熱材を使用せず、全金属構造とすることで真空中でも発塵・ガス放出を最小化 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格情報
※装置仕様によって価格が変動するため、詳しくはお気軽にお問合せください。
納期
用途／実績例
【適用分野】 ■半導体材料の前処理(SiC基板、酸化物単結晶など) ■高純度粉末(酸化物、窒化物、硼化物)の合成 ■高精度温度プロファイルが必要な材料評価 ■炭素や窒化による炉材劣化を避けたいプロセス ■表面分析前の試料加熱処理 ※さらに詳しい情報については資料をダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
