CMPスラリー用PPフィルター
CMPフィルター プレウェット特許取得
超高圧でプレフラッシングを行った当フィルターは、ノンフラッシングのフィルターと比較すると、1ml中のパーティクル数や金属汚染レベルにおいて 高い性能を発揮します。
基本情報
製造工程における薬液の廃液量を削減し、循環による再利用率を向上させる環境に優しいソリューションを提案 生産性の改善やコストダウンの実現にも寄与する事が可能です。
価格帯
納期
用途／実績例
超高圧でプレフラッシングを行った当フィルターは、ノンフラッシングのフィルターと比較すると、1ml中のパーティクル数や金属汚染レベルにおいて 高い性能を発揮します。
