1インチ以下～450ｍｍで提供可能 「CZウェーハ」
1インチ以下～４５０ｍｍまで提供が可能です。各種成膜加工、ＦＺウェーハやサファイア、ゲルマニウム、化合物半導体も対応可能。
基本情報
【特徴】 ○1インチ以下から450mmまで提供可能 ○各種成膜加工が可能 ○パーティクルグレード・モニターグレード等用途に合わせて紹介可能 ○ＥＰＩ受託加工 〇FZウェーハ 直径30mmから8インチ、0.1 ohmから10k ohm cmを超えるような高抵抗ウェーハを取り扱っております。 〇ＳＯＩウェーハ CZ・FZウェーハを使用した新規作成での対応も可能です。 新規作成の場合,最小枚数は10枚程度からのご提供になります。 直径：3inch-12inch SOI層：2-200um程度（抵抗1万Ω以上など高抵抗対応可能） SiO2(酸化膜）層：50nm-2um程度(0.1-10umも対応可能） 支持基板：300-725um程度（抵抗1万Ω以上など高抵抗対応可能） 数量：在庫品の場合は数枚程度から対応可能 ＊基板支給をSOIウェーハに加工することも可能です。 〇拡散ウェーハなども対応可能 ○半導体製造装置テスト用：モニターウェーハ・ダミーウェーハ ○太陽電池用単結晶シリコンウェーハ・太陽電池用多結晶ウェーハ ●詳しくはお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
エナテックはシリコンウェーハ関連製品を多数取り扱っており、お客様の御要望に迅速、的確に対応いたします。 設立後40年有余年、Si分野を中心に半導体産業の一角を支えてまいりました。国内外のシリコンメーカー・加工メーカーの協力により、日本のみならず海外市場へも安定的にシリコン材料を供給しています。 半導体及び太陽電池製造メーカー等への評価用テストウェーハ・成膜ウェーハ販売(及び再生加工等の受託加工）を主とし、ダミーウェーハの分野においても、国内にSiの選別工程の倉庫を2箇所有し、お客様のニーズにお答えすべく様々な種類のウェーハをご紹介させて頂いております。 CZシリコンウェーハ以外にもFZシリコンウェーハ、SOIウェーハ、拡散ウェーハ、ＳｉＧｅ，ＧａＡｓ、InP、サファイア、ゲルマニウム、SiCウェーハ、半導体用中古装置、フェライトコア、酸化鉄、高純度化学物質等も取り扱っています。
