アライメントステージ『SA…DE/T』
ダイレクトドライブ方式の回転案内にはIKOクロスローラベアリングを採用！極めて低い断面高さを実現しています
『SA…DE/T』は、ダイレクトドライブ方式を採用した、低断面でコンパクトな XYθ運動を実現するアライメントステージです。 従来の回転タイプは、回転動作角に制限がありましたが、新たにラインアップした 無限回転タイプ(当製品)は、360度を超える動作角や、連続回転動作に対応します。 また、高分解能エンコーダを内蔵したダイレクトドライブ方式のステージを フルクローズドループ制御することにより、高分解能と高精度を実現しています。 【特長】 ■XYθ軸の組み合わせが自由に ■薄形、コンパクト ■高分解能・高応答 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【ラインアップ】 ■SA65DE/X ■SA120DE/X ■SA200DE/X ■SA65DE/S・SA65DE/T ■SA120DE/S・SA120DE/T ■SA200DE/S・SA200DE/T ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
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