クリーンエアシャフト1000
粉塵発生の少ないクリーンなAIREXエアーシャフト
クラス1000のクリーンルーム内で使用できます。 AIREX エアーシャフト標準タイプ全てに対応できます。 コアの接触による発塵を少なくするため、ヘッドキャップ及びラグは樹脂部品になっています。 クラス1000 のクリーンルーム内でラグを拡縮させ、粒子径0.5 μｍ以上の発塵量は100個/ft3 以下を確認しています。
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