パラレルドライブステージ
新構造のXYステージの登場
パラレルドライプステージ PD…Sは、2軸並列に配置したポールねじアクチュエータの直線運動をXY運動に変換する機構を備えることでせ断面化を実現した、IKO独自の精密位置決めXYステージです。 従来の一軸アクチュエータを積み重ねたXYステージとは異なり、ステージ周辺に可動するモータやケープル類が無いため、外部からステージ上へのアクセスも行いやすく、作業エリアを限定しない自由度の高い装置設計が可能です。 直線案内部にはメンテナンスフリーシリーズのCループリニアウェイを採用。コンパクトで耐久性にも優れたステージです。
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