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電極パターンの凹凸、厚み不良の他、パターンの太り、細り、シミ、異物不良を検出します。 またパターンの位置度検査が可能であり、グリーンシートの積層管理にご使用いただけます。 積層品質向上、歩留まり向上にぜひご検討ください。 【特長】 ■パターン高さやパターンの凹凸検査（高精細3D検査） ■微細な欠陥やパターンの寸法検査（高精細2D検査） ■グリーンシート毎のパターン位置度管理 ■積層デバイスの歩留り向上に貢献します ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【仕様】 ■ハンドリング仕様 ・手置きタイプ ・自動搬送タイプ 　※前後工程に合わせてカスタマイズ可能 ■対象ワーク ・積層セラミックス用グリーンシート ・シートサイズ：□100mm～□500mm程度 　※シートサイズに応じてカスタマイズ可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【検査項目】 ＜欠陥検査＞ ■シート部 ・キズ、異物、スクラッチ、変色、汚れ、シミ ■パターン部 ・パターン上異物、パターン断線、パターンショート ＜寸法検査＞ ■パターン高さ・断面積（3D検査） ■パターン幅 ■パターン位置度 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。