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静電容量式セラミック圧力センサ『ME550』

広い動作温度範囲!耐薬品性(腐食性ガス、ほとんどの溶剤など)に優れたセンサ

静電容量方式を採用した『ME550』は、60mbarという非常に低い 圧力の測定に適したセンサです。 高い耐圧を特長とし、半導体製造装置をはじめ、農業用計測装置や 気象用計測装置などのアプリケーションに好適。 Al2O3セラミックにより耐薬品性(腐食性ガス、ほとんどの溶剤、 酸など)に優れています。 【特長】 ■静電容量方式を採用 ■耐化学薬品性(耐酸性・耐アルカリ性) ■機械的堅牢性 ■広い動作温度範囲 ■超低圧測定:0~60mbar ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

関連リンク - https://www.gec-tokyo.co.jp/components/metallux/me…

基本情報

【仕様(抜粋)】 ■センサタイプ:フラッシュダイヤフラム 絶対圧(A) またはゲージ圧 (G) ■方式:静電容量式/比率 ■重量(g):≦20(セラミックセルのみ) ■応答時間(ms):≦10 ■動作温度(℃):-40~+135(-40°F~+275°F) ■保存温度(℃):-40~+150(-40°F~+302°F) ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

価格帯

納期

用途/実績例

【アプリケーション】 ■半導体製造装置 ■農業用計測装置 ■気象用計測装置 ■食品製造装置 ■医薬品製造装置 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

【英語版】静電容量式セラミック圧力センサ『ME550』

製品カタログ

取り扱い会社

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