*ターボ分子ポンプHiPaceシリーズ
圧縮比、到達真空度、ガス流量など、業界トップクラスの基本性能
基本情報
ファィファーバキューム社は独国アスラーに本社を構え、1890年より最先端の真空機器、真空計測機器、真空分析機器の開発・製造を行なっている企業です。同社は、50年以上も前に世界で初めてのターボポンプを開発いたしました。それ以降、技術革新を進めこの分野におけるリーダーカンパニーとして、世界各国における半導体、分析、コーティング、産業、R&Dなどの多種多様の分野において、お客様に最適な真空環境をご提供しています。
価格帯
納期
型番・ブランド名
ファイファーバキューム社製HeptaDryシリーズ
用途/実績例
【用途】 分析装置 半導体装置 加速器 その他
詳細情報
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ラインアップ(24)
型番 | 概要 |
---|---|
HiPace10 | •排気速度 N2:10 l/s、H2:3.7 l/s •到達真空度:<5.0×10-3 Pa ※ベーキングなし •口径:25KF/NW25 |
HiPace30 | •排気速度 N2:22~32 l/s、H2:19~20 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:40KF/NW40, 63ISO-K, 63CF/ICF114 |
HiPace80 | •排気速度 N2:35~67 l/s、H2:38~48 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:40KF/NW40, 63ISO-K, 63CF/ICF114 |
HiPace300 | •排気速度 N2:260~370 l/s、H2:220~460 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F |
HiPace300H | •Hモデルは、高圧縮比モデル •排気速度 N2:260~370 l/s、H2:220~460 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F |
HiPace300P | •Pモデルは、粉塵等が発生するプロセスに対応 •排気速度 N2:245 l/s、H2:125 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F |
HiPace300M | •Mモデルは、五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ •排気速度 N2:255 l/s •到達真空度:<5.0×10-8 Pa •口径:100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F |
HiPace400 | •排気速度 N2:260~370 l/s、H2:220~460 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F |
HiPace400P | •Pモデルは、粉塵等が発生するプロセスに対応 •排気速度 N2:350 l/s、H2:225 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:100 ISO-K, 100CF/ICF152, 100 ISO-F |
HiPace700 | •排気速度 N2:685 l/s、H2:555 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:160 ISO-K, 160CF-F/ICF203, 160 ISO-F |
HiPace700H | •Hモデルは、高圧縮比モデル •排気速度 N2:685 l/s、H2:555 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:160 ISO-K, 160CF-F/ICF203, 160 ISO-F |
HiPace700P | •Pモデルは、粉塵等が発生するプロセスに対応 •排気速度 N2:670 l/s、H2:275 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:160 ISO-K, 160CF/ICF203, 160 ISO-F |
HiPace700M | •Mモデルは、五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ •排気速度 N2:685 l/s •到達真空度:<5.0×10-8 Pa •口径:160 ISO-K, 160CF-F/ICF203, 160 ISO-F |
HiPace800 | •排気速度 N2:790 l/s、H2:580 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:200 ISO-K, 200CF/ICF253, 200 ISO-F |
HiPace800P | •Pモデルは、粉塵等が発生するプロセスに対応 •排気速度 N2:785 l/s、H2:320 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:200 ISO-K, 200CF/ICF253, 200 ISO-F |
HiPace800M | •Mモデルは、五軸制御型磁気浮上ターボ分子ポンプ •排気速度 N2:790 l/s •到達真空度:<5.0×10-8 Pa •口径:200 ISO-K, 200CF/ICF253, 200 ISO-F |
HiPace1200 | •排気速度 N2:1250 l/s、H2:1100 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:200ISO-K, 200CF/ICF253, 200ISO-F |
HiPace1200C | •Cモデルは、耐腐食性モデル •排気速度 N2:1250 l/s、H2:1100 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:200ISO-K, 200CF/ICF253, 200ISO-F |
HiPace1500 | •排気速度 N2:1400 l/s、H2:1150 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:250ISO-K, 250CF/ICF303, 250ISO-F |
HiPace1500C | •Cモデルは、耐腐食性モデル •排気速度 N2:1400 l/s、H2:1150 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:250ISO-K, 250CF/ICF303, 250ISO-F |
HiPace1800 | •排気速度 N2:1450 l/s、H2:1700 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:200ISO-K, 200ISO-F |
HiPace1800C | •Cモデルは、耐腐食性モデル •排気速度 N2:1450 l/s、H2:1700 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:200ISO-K, 200CF/ICF253, 200ISO-F |
HiPace2300 | •排気速度 N2:1900 l/s、H2:1850 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:250ISO-K, 250CF/ICF303, 250ISO-F |
HiPace2300C | •Cモデルは、耐腐食性モデル •排気速度 N2:1900 l/s、H2:1850 l/s •到達真空度:<1.0×10-5 Pa ※ベーキング有無・フランジ形状による •口径:250ISO-K, 250CF/ICF303, 250ISO-F |
カタログ(2)
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伯東株式会社は、エレクトロニクス専門商社・技術サービスを提供する 技術商社・化学工業薬品メーカーとして、個々のニーズの見極めから 人と技術が共生する豊かな未来を創造しています。 当社は1953年11月に、水晶原石の輸入・販売を手がける商社として設立。 「伯東」とは、水晶の原産地である伯剌西爾 (ブラジル) の「伯」と 東京の「東」の頭文字をとり命名されたもので、この社名には ブラジル・東京を結ぶだけではなく、広く世界を結ぶ国際商社として 成長していこうという熱い思いが込められています。 【イプロス掲載メーカー/製品群】 旭化成/センサー、ホール素子・IC Crystal IS(クリスタルアイエス)/UVC(深紫外線)LED IMPINJ(インピンジ)/RAIN RFID機器・システム・ソフトウェア