電子ビーム(EB)描画装置
高加速電圧100ｋVの高精度タイプからSEM機能も有するユニバーサルタイプの電子線描画装置をラインナップ、各種ニーズに対応可能
◆ハイエンド EBPGシリーズ ハイエンドモデルのEBPG5150/5200はRAITH社の卓越した技術を凝縮した装置となっております。周期的構造や正確形状等、お客様のご希望パターン描画を、高精度ステージ・電子銃及び主要関連備品等の制御を統合した専用ソフトウェアを介して、業界最速で提供いたします。 ✓ 高精度 且つ 高速なステージ安定構成 ✓ 広範囲な描画フィールド ✓ 最大 350 nA の「高電流密度」ビーム（FastHR技術） ✓ 125MHz 高速パターンジェネレータ ＆ 2段階偏向（Coarse / Fine DAC） ✓ 全自動キャリブレーションによる「準備・調整時間」の短縮 ◆EB描画×SEMのハイブリッドモデル ユニバーサルモデルは高解像度カラムを搭載し、電子線描画と高解像度観察機能を兼ね備えております。オプションで検出器、ナノプロービング等を追加可能な拡張性がある装置です。 ✓ GeminiSEMカラムを搭載 ✓ 膨大なCADデータの高速データハンドリング (Algorizmixx) ✓ 独自のスティッチングエラー技術 ✓ 加工・評価まで可能な拡張性
基本情報
ドイツ/ドルトムントに本社を構えるRaith GMBH社の設立は1980年、電子線描画装置を中心としたナノファブリケーションのソリューションを40年以上わたり提供し続けています。
価格帯
納期
用途／実績例
アプリケーション例： ・化合物半導体 ・オプトエレクトロニクス ・ナノフォトニック ・量子コンピューター ・セキュリティ/ホログラム ・マスク ・他
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取り扱い会社
伯東株式会社は、エレクトロニクス専門商社・技術サービスを提供する 技術商社・化学工業薬品メーカーとして、個々のニーズの見極めから 人と技術が共生する豊かな未来を創造しています。 当社は1953年11月に、水晶原石の輸入・販売を手がける商社として設立。 「伯東」とは、水晶の原産地である伯剌西爾 (ブラジル) の「伯」と 東京の「東」の頭文字をとり命名されたもので、この社名には ブラジル・東京を結ぶだけではなく、広く世界を結ぶ国際商社として 成長していこうという熱い思いが込められています。 【イプロス掲載メーカー／製品群】 旭化成／センサー、ホール素子・IC Crystal IS（クリスタルアイエス）／UVC（深紫外線）LED IMPINJ（インピンジ）／RAIN RFID機器・システム・ソフトウェア