PVAテプラ社ウェハ内部ストレス測定
非接触にてウェハ残留応力の可視化、プロセス開発・製造時の内部ストレスモニタリングに最適
TePla社製SIRDは，非破壊，非接触にて，インラインのサンプルストレスフィールドモニタリングを実現します．あるストレスを受けたサンプルは光弾性効果により複屈折を生じます．複屈折の生じたエリアに偏光された光が通過する際，この偏光状態に変化が生じます． このときのデポラリゼーションおよびトランスミッションを評価し，ストレス分布のイメージングを行います．
基本情報
◆一般仕様 ・レーザ：波長 1.3um、スポットサイズ 100um ・スキャンモード：最大スキャン径 r=152mm ・スループット：10枚/時間 300mm (標準レシピ測定) ・ファシリティ：入力電源 220V(50/60Hz)、圧縮エアー 6BAR,500L/h、バキューム：＜20kPa,4000L/h *詳細はお問い合わせください
価格帯
納期
用途／実績例
✓エピ成長 ✓拡散プロセス ✓RTP高温プロセス ✓ウェハ切り出し ✓グラインディング、ラッピング ✓ポリッシング
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伯東株式会社は、エレクトロニクス専門商社・技術サービスを提供する 技術商社・化学工業薬品メーカーとして、個々のニーズの見極めから 人と技術が共生する豊かな未来を創造しています。 当社は1953年11月に、水晶原石の輸入・販売を手がける商社として設立。 「伯東」とは、水晶の原産地である伯剌西爾 (ブラジル) の「伯」と 東京の「東」の頭文字をとり命名されたもので、この社名には ブラジル・東京を結ぶだけではなく、広く世界を結ぶ国際商社として 成長していこうという熱い思いが込められています。 【イプロス掲載メーカー／製品群】 旭化成／センサー、ホール素子・IC Crystal IS（クリスタルアイエス）／UVC（深紫外線）LED IMPINJ（インピンジ）／RAIN RFID機器・システム・ソフトウェア
