PVA社製ウェーハストレスモニター
非接触にてウェハ残留応力の可視化、プロセス開発・製造時の内部ストレスモニタリングに最適
PVA MPS社（独）は、光弾性効果を用いたモニタリング装置「Scanning InfraRed Depolarization （以下SIRD）」を提供しております。 本装置は偏光されたレーザーを対象となるウェーハに照射し、ウェーハを透過する際に生じる複屈折(光弾性効果)を2つの検出器を用いて検出し、得られた結果を独自のアルゴリズムを用いて、欠陥箇所を可視化することでプロセス管理等に資することができます。
基本情報
・測定対象ウェーハはSi,SiC(※),GaAs,GaN,InP,AlN等 ※ SiCウェーハは専用モデル有 ・～300mmウェーハの内部応力の観察可視化が容易 ・測定時間は6 枚 / h @300mm（標準レシピ）※ 測定範囲を限定的にすることでスループットの向上も可能 ・面内不良面積比の算出機能を有し、品質管理に最適 ・SECS-GEM に準拠したシステム提供も可能な為、量産用途の使用も可能
価格帯
納期
用途／実績例
アプリケーション例： ・グラインディング工程 ・RTA 等の熱プロセス ・エピタキシャル成長プロセス ・エッジディフェクトを含めた品質検査 ・他
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取り扱い会社
伯東株式会社は、エレクトロニクス専門商社・技術サービスを提供する 技術商社・化学工業薬品メーカーとして、個々のニーズの見極めから 人と技術が共生する豊かな未来を創造しています。 当社は1953年11月に、水晶原石の輸入・販売を手がける商社として設立。 「伯東」とは、水晶の原産地である伯剌西爾 (ブラジル) の「伯」と 東京の「東」の頭文字をとり命名されたもので、この社名には ブラジル・東京を結ぶだけではなく、広く世界を結ぶ国際商社として 成長していこうという熱い思いが込められています。 【イプロス掲載メーカー／製品群】 旭化成／センサー、ホール素子・IC Crystal IS（クリスタルアイエス）／UVC（深紫外線）LED IMPINJ（インピンジ）／RAIN RFID機器・システム・ソフトウェア