TRIBUS SYSTEM社製 PVDシステム
Enduraを知り尽くした会社が提案する新たなPVD装置
TRIBUS SYSTEM社はアプライドマテリアル社製EnduraⓇPVDシステムのリファービッシュ専門会社であるSemicat社の子会社です。同社は2020年に設立し、Semicatで培った知識・経験を基に独自開発のPVDシステム(SURPASS P200Ⓡ)を2021年より製造・販売をしております。従来のPVDシステムと比較致しまして、スループットやソフトの操作性・柔軟性が向上しており、半導体製造主要国の会社様でのご採用が加速しております。
基本情報
＜製品特徴＞ ✓ 独自設計のGUIによって、加工プロセス状態の可視化が容易 ✓ 各プロセスチャンバーにPLCを搭載しており、数十種類のパラメータの管理が可能 *標準Enduraのチャンバー、プロセスキット取付可能 ✓ ソフトウェアのライセンス費用は発生しない為、コスト削減が可能 ✓ Auto Wafer Centering (AWC)搭載しており、チャンバーへの搬送時にミスアライメント・誤搬送を検知 ✓ Two Dual Blade Robotsのオプション搭載によってスループットの向上に寄与 ✓ プロセス保証付き
価格帯
納期
型番・ブランド名
SURPASS P200
用途／実績例
Ti/TiNやAl等でのメタライゼーション
取り扱い会社
伯東株式会社は、エレクトロニクス専門商社・技術サービスを提供する 技術商社・化学工業薬品メーカーとして、個々のニーズの見極めから 人と技術が共生する豊かな未来を創造しています。 当社は1953年11月に、水晶原石の輸入・販売を手がける商社として設立。 「伯東」とは、水晶の原産地である伯剌西爾 (ブラジル) の「伯」と 東京の「東」の頭文字をとり命名されたもので、この社名には ブラジル・東京を結ぶだけではなく、広く世界を結ぶ国際商社として 成長していこうという熱い思いが込められています。 【イプロス掲載メーカー／製品群】 旭化成／センサー、ホール素子・IC Crystal IS（クリスタルアイエス）／UVC（深紫外線）LED IMPINJ（インピンジ）／RAIN RFID機器・システム・ソフトウェア
