ナノリソグラフィ用パターンジェネレーター
お手持ちのSEMにリソグラフィ機能を拡張
RAITH社設立の原点である「ELPHY」は、世界で最も実績のあるパターンジェネレーターです。 簡単な単一フィールド描画から、複雑で自動化された多層・多フィールドパターニング、計測まで幅広く対応します。 既存のSEM／FIB-SEM本来の機能を維持しながら、ナノリソグラフィ機能を追加するアクセサリです。 RAITHのソフトウェアプラットフォーム「RAITH Nanosuite」の採用により、CADレイアウト作成から自動露光、計測までをシームレスに統合します。 • システム制御、パターンおよびジョブの準備、自動化 • CADレイアウトから自動露光・自動計測までのシームレスな統合 • プロ仕様のGDSII対応インテグレーテッド・デザインエディタ／ビューアを搭載 • 真の3Dナノ加工への対応 • 近接効果補正（PEC: Proximity Effect Correction）機能をオプションで追加可 • 高度な描画ストラテジーの定義・設定機能 • 高精度なオーバーレイ／多層リソグラフィ対応
基本情報
■最新FPGA技術を採用したハードウェアにより、高速かつ高精度なパターン配置を実現 •18/20 bit分解能によるサブナノメートル級のパターン配置精度 •最大8点のリファレンスによる高度なライトフィールドアライメント •PerfectShapes技術による柔軟な走査モード（ラインエッジラフネス低減） ■幅広い研究・開発用途に対応する専用ソフトウェアモジュールを搭載 •近接効果補正と3Dレジスト現像シミュレーション •グレースケールパターンによる3Dリソグラフィー •ナノコンタクト形成ワークフロー •FEBIP／FIBIP機能 •基本計測機能 ■ラインナップ 最大描画周波数：ELPHY Plus 50MHz、ELPHY Quantum 20MHz DAC分解能 ：ELPHY Plus 20bit、ELPHY Quantum 18bit
価格帯
納期
型番・ブランド名
ELPHY
用途／実績例
主なアプリケーション • フォトニック結晶・光共振器 • 量子効果デバイス、量子細線 • グレースケールリソグラフィー • FIBミリングおよびEBL／FIB複合加工 • ナノコンタクト形成 • FEBIDによる絶縁膜堆積 • ナノポア、シリコンナノワイヤー • CMOS回路・デバイス試作
詳細情報
ラインアップ（2）
| 型番 | 概要 |
|---|---|
| ELPHY Quantum | エントリーモデル |
| ELPHY Plus | 標準モデル |
カタログ（1）
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取り扱い会社
伯東株式会社は、エレクトロニクス専門商社・技術サービスを提供する 技術商社・化学工業薬品メーカーとして、個々のニーズの見極めから 人と技術が共生する豊かな未来を創造しています。 当社は1953年11月に、水晶原石の輸入・販売を手がける商社として設立。 「伯東」とは、水晶の原産地である伯剌西爾 (ブラジル) の「伯」と 東京の「東」の頭文字をとり命名されたもので、この社名には ブラジル・東京を結ぶだけではなく、広く世界を結ぶ国際商社として 成長していこうという熱い思いが込められています。 【イプロス掲載メーカー／製品群】 旭化成／センサー、ホール素子・IC Crystal IS（クリスタルアイエス）／UVC（深紫外線）LED IMPINJ（インピンジ）／RAIN RFID機器・システム・ソフトウェア