発光ダイオード向け、粗面化処理用エッチング液の開発、販売（黄緑～赤色高輝度LED、半導体膜用）
林純薬工業株式会社 電子材料部
このほど発光ダイオード（以下、「LED」という）プロセスにおけるAlGaInP膜（半導体膜）表面をエッチングして粗面化（凹凸化）することができる高性能なエッチング液の開発に成功しました。 本エッチング液を適用することにより、特殊な技術を用いることなく、LEDの光取り出し面を構成する半導体膜の表面を、効率よくエッチングして粗面化することが可能となりました。 今後、高成長が期待されているLED製品の高輝度化、加工精度と信頼性の向上に寄与するとともに、LED製造向けのみならずさまざまな分野へ向けて提案、販売していく予定です。 □その他機能や詳細については、資料をご覧下さい。
