『水晶エッチング液』の開発 《水晶デバイス用》
林純薬工業株式会社 電子材料部
林純薬工業株式会社は、この度、水晶デバイス向けとして、水晶エッチング液を開発いたしました。 水晶のウェットエッチングに用いられるエッチング液として、フッ化水素酸（以下 HF）や、HF とフッ化アンモニウム（以下 NH4F）の混合液が広く使用されていますが、様々な問題点がありました。 そこで、当社は独自技術により、エッチングによる断面形状のテーパー角の角度差を低減し、エッチング表面の平坦化、且つ厚みを均一にエッチングすることが可能となる水晶エッチング液を開発しました。 □その他機能や詳細については、資料をご覧下さい。
