【予知保全事例】ターボ分子ポンプの異常検知
異音に注視した監視でポンプ故障を未然に防止！メンテナンス費用を削減した事例
半導体製造装置のターボ分子ポンプに「VD-unit」を導入し、 ベアリング異常(異音)を検知するシステムを構築した事例のご紹介です。 ポンプの寿命や故障の予兆を正確に把握できないため、過剰な メンテナンスにならざるをえず、メンテナンス費が高額になって いたことが課題でした。 保守作業員は経験的にベアリング劣化したポンプは発生する異音が 大きくなることを認識。「VD-unit」は、この異音を振動値として 定量的に検知するシステムを構築しています。 【事例概要】 ■要望：ターボ分子ポンプの突発的な故障を防止し、メンテナンス費用を削減したい ■VD-unitの設定 ・フィルター1kHz～10kHz ・測定モード：加速度 ・演算モード：RMS、CF ■正常状態：0.7m/s2(RMS設定) ■異音発生：4.5m/s2(RMS設定) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
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価格帯
納期
用途／実績例
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