高精度・高剛性直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』
繰り返し精度従来比３倍以上！位置決め精度±1.0㎛以下を実現した高精度アクチュエータ
「1㎛の剛性」、「1㎛の送り精度」、「1㎛の直進性」を持つ 高精度・高剛性な直動アクチュエータです。 転動体にニードルローラを採用することで高精度な直進性を実現した アイセル独自の『ミリオンガイド』を搭載しています。 繰り返し位置決め精度はX・Y・Z全方向±1.0㎛以下を実現しており、 サブミクロン単位での微小送りや微小位置決めが可能なため、 光学機器のレンズやミラー調整、半導体製造装置用ステージなどの用途に最適です。 サイズは最小15角からと省スペースで、各種カスタム対応が可能です。 モータレスでの販売も実施しており、お好みのモータを取り付けることも可能です ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【用途】 ■各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整 ■アライメントステージのX・Y・θ軸の調整 ■カメラのフォーカス、位置調整 ■顕微鏡、望遠鏡のレンズ・ミラー調整 ■半導体、液晶製造装置 ■各種自働機、試験装置 など
価格帯
納期
型番・ブランド名
ミリオンアクチュエータ
用途／実績例
※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
カタログ（2）
カタログをまとめてダウンロード
取り扱い会社
アイセルグループの原点は、1968年の創業以来、自動車や液晶、半導体など 多岐に渡る分野の産業設備や産業設備用部品の製造・販売に携わっているアイセル株式会社にあります。 アイセルグループは2010年以降、次第にグループ企業を増やしていき 現在、グループ会社を含め国内に11拠点・国外6拠点で構成されています。
