高精度直動アクチュエータ『ミリオンアクチュエータ』
従来比３倍の繰返し精度！位置決め精度±１μｍを実現した高精度アクチュエータ
『ミリオンアクチュエータ』は、位置決め精度 ±1μmを実現したリニアアクチュエーターです。 ガイド部にローラー式ミリオンガイドを採用しているため、他社ボールガイド採用のアクチュエータと比べ、 剛性が 10 倍以上!また、振動も少なくなめらかなため、XY 方向繰り返し精度も3倍以上！ ステッパーなど、各種光学機器のレンズ・ミラー移動や微少角度調整、カメラ・センサの位置調整といった微調整用途に最適です。 【ミリオンアクチュエータの特徴】 ■繰り返し位置決め精度 ±1μm を実現！ ■ローラー式ガイドを採用しているため、振動が少なくなめらかで、 XY 方向繰り返し精度は従来品と比較して 3 倍以上！ ■省スペース＆一体構造のため、装置設計の時間短縮に貢献！ ※詳しくは資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【用途】 ■スラッパー等各種光学機器のレンズ・ミラー移動、微少角度調整 ■アライメントステージのX・Y・θ軸の調整 ■カメラ、センサーの位置調整 ■顕微鏡、望遠鏡のレンズ・ミラー調整 ■テーブルの位置決め ■半導体、液晶製造装置 ■各種自働機、試験装置 など
価格帯
納期
型番・ブランド名
ミリオンアクチュエータ
用途／実績例
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取り扱い会社
アイセルグループの原点は、1968年の創業以来、自動車や液晶、半導体など 多岐に渡る分野の産業設備や産業設備用部品の製造・販売に携わっているアイセル株式会社にあります。 アイセルグループは2010年以降、次第にグループ企業を増やしていき 現在、グループ会社を含め国内に11拠点・国外6拠点で構成されています。
