真空仕様ローラガイド『真空用ミリオンガイド V-GNシリーズ』
最大10-5Paの真空環境に対応！高剛性、不回転を実現した直動ガイド新製品
転動体にニードルローラを採用することで、高精度な直進性を実現した ローラガイド『ミリオンガイド』に、真空用『V-GNシリーズ』が新登場。 オールステンレス製で、ベーキングに要求される熱やガスなどへの対策を実施。 大気圧から10-5Paまでの真空環境に対応可能です。 【ポスト・ブシュ・ローラの特長】 ■マルテンサイト系ステンレス鋼を採用 ■特殊熱処理により耐熱性を向上（ベーキング温度最高200℃まで対応） ■表面処理にバフ研磨を採用。アウトガスの発生を抑制 【その他の特長】 ■オーステナイト系ステンレス鋼をリテーナに採用 ■フッ素系真空グリース（ダイキン工業製 デムナムL200）を採用 ※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
基本情報
【使用用途例】 ・半導体製造装置 ・FPD製造装置 ・真空薄膜作製装置 ・ストレージデバイス装置 など 【対応シリーズ】 GNZ・GNG・GNS・GNSH・ZG ※シリーズに関しては当社HP（http://isel.jp/mg/mg.htm）をご覧ください。 お問い合わせもお気軽にどうぞ。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはカタログをご覧下さい。お問い合わせもお気軽にどうぞ。
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取り扱い会社
アイセルグループの原点は、1968年の創業以来、自動車や液晶、半導体など 多岐に渡る分野の産業設備や産業設備用部品の製造・販売に携わっているアイセル株式会社にあります。 アイセルグループは2010年以降、次第にグループ企業を増やしていき 現在、グループ会社を含め国内に11拠点・国外6拠点で構成されています。
