高精細ポリイミド・コーター『Twin-air』
ツインエアー方式！独自技術のセルフサックバックで液だれ、濡れ上がり無し
『Twin-air』は、極微量滴下を可能にしたツインエアー方式の 高精細ディスペンサーです。 ポリイミド使用量を削減し、大幅なコスト削減。必要な位置に、必要な量を、 高精度にコーティング可能です。 また、ウエハ全面にパッシベーション厚膜コートを実現し、様々な高粘度液剤の 塗布に対応しています。 【特長】 ■ピコリットルオーダーの極微小吐出が可能 ■モジュール／チップレベルのダイレクト・コーティング ■エッジカット処理（リンス工程）不要、廃液ゼロ ■ガードリング形成・局所コートでフォトリソ工程不要 ■数十～70万cps以上という低～超高粘度まで対応 ■吐出中の液流、着液前後のモニタリングが可能 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】 ■試作・量産自動化・特注システム対応『WL／CLシリーズ』 ■量産用途『ES30シリーズ』 ■R&D・生産用『RDXシリーズ』 ■卓上用『ESAJシリーズ』 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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