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<半導体> ウエハー・ポリマーのコーティング試験考察

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<半導体> ウエハー・ポリマーのコーティング試験考察

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半導体の強度検査・表面検査・環境試験など様々なアプリケーションノートをご紹介

数百の工程を必要とする半導体の炭化ケイ素ウエハーは、金属のコーティングを施されます。 この金属コーティングの接着強度、コーティングと基材との相性などにより様々なトラブルの原因となり得ます。 米国カリフォルニア州に本社をおくナノビア社は研究開発、品質管理で半導体の検査に関わってきました。 ここではナノビアのインデンターと呼ばれる機械式試験機を取り上げ、実際のウエハーのコーティングの試験でわかる項目や、高温のアプリケーション、ポリマーのコーティングなどの試験結果のアプリケーションノートを紹介します。

ナノビア社製 リアルナノ3Dプロフィロメーター・ナノ/マイクロインデンター・カスタムトライボメーター

基本情報

ウエハーの金属コートの機械強度の検証では、圧痕試験、スクラッチ試験、往復スクラッチ試験などで試験いただける内容をご紹介します。 シリコンウエファーへの微小ひっかき試験では、ポリマーコーティングの接着破壊、凝集破壊、臨界負荷などについて考察しています。 多層薄膜スクラッチ耐性試験では、多層皮膜の接着破壊、凝集破壊、そして基材への影響などについて考察しています。 自己洗浄ガラスコートの摩擦評価では、キムワイプをつけた湿式及び乾式の圧子により摩擦挙動を評価しています。 高温でのアーク往復試験では、高温下でのトライボメーターでのスクラッチ試験、特に直線運動との違いなどについて考察しています。この研究では８００℃で試験していますが、装置は実測1,100℃まで対応しています。 ぜひ、研究開発にお役立てください。

価格帯

納期

型番・ブランド名

ナノビア社

用途／実績例

半導体の強度検査・表面検査・環境試験など

カタログ（8）

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ウエハー金属コート材（インデンター）

技術資料・事例集

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シリコンウエファーコート剤への微小ひっかき試験（インデンター）

技術資料・事例集

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多層薄膜コートの評価（インデンター）

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