ナノインデンター技術資料 炭化ケイ素ウエファー金属コート剤の特性
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単結晶炭化ケイ素（c-SiC）ウエハーは、集積回路（IC）や太陽電池（PV）セルなどのマイクロ・エレクトロニクス・デバイ スの製造に広く使用されています。ほとんどのウエハーは高純度単結晶から形成され、サイズは25.4mmから300mmまで 様々です。このウエハーは、その内部および表面に形成されるマイクロデバイスの基板として機能します。ドーピングやイ オン注入、フォトリソグラフィーによるパターニング、各種材料の堆積、エッチングなどは、ウエハーが経る数多くの微細 加工プロセスの一例です。
基本情報
◎必要なものを1台で全て可能にするシステム ナノビア社のナノ/マイクロインデンター（機械式テスター）は、「スクラッチ」「押し込み」「引っかき傷」「摩擦試験」を通じて、「薄膜」「コーティング」「セラミック」「複合材料」から「ポリマー」「生体材料」に至るまで、幅広い材料のマイクロからナノメカニカル特性を正確に測定します。 全モデルに独立した荷重センサーと深さセンサーによる真のフィードバック負荷制御が搭載されており、市場で入手可能な比類のない精度と最高の再現性を実現します。
価格帯
納期
型番・ブランド名
ナノビア社ナノインデンター
用途／実績例
◎ナノビア社独自の卓越したテクノロジー ◎高度な自動追従ズーム表示
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