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Air校正・水素測定における精度検証について

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アリキャットの製品はAirの校正で行われます。 ■Alicatのマスフロー機器は1msec毎に圧力と温度を測定します。 機器本体には予めNISTトレーサブルな3次元ガス特性データ(圧力と温度に対する粘度データ)が登録されています。 測定した圧力と温度の値より、登録された3次元ガス特性データから選択したガスの粘度データを決定し、流量の演算に使用します。 その粘度データに含まれるAirで校正することによって、登録されたガスでの測定を可能としております。 ■アリキャット社のマスフローメーターにおいて、アリキャット社にて空気を使用して校正を行い、その後、第三者による実際の水素を使用した校正確認を実施しました。 その結果、測定値は規定および許容される公差の範囲内に十分収まっていることが確認されました。 現在、関連資料の最終原稿を完成させ、配布に向けた準備を進めています。 準備が整い次第、公開いたしますので、今しばらくお待ちください。

関連製品情報

  • ALICAT製品～12000SLPM：納期4～8週間／マスフロー

    混合ガスを含め1台で98種のガスに対応。±0.6% RDの正確さで高速応答。コントローラーは50ms-100msの制御応答。

    【ラインアップ】 マスフローメーター ■Mシリーズ（標準タイプ） ■MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MQシリーズ（高圧タイプ） ■MB/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター） ■PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット） マスフローコントローラー ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRQシリーズ（高圧タイプ） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ガスミキサー（MAP包装用等） ■MXM 精密ガスミキサー ■IMX 工業用ガスミキサー ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICATマスフローコントローラーMCW(低圧力損失)納期4週

    非常に小さな差圧で計測し、圧力損失が非常に小さく、低圧で使用する環境に最適なマスフローコントローラー。

    マスフロー【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRWシリーズ（高圧タイプ） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT マスフローコントローラーMCQ（高圧）

    最大動作圧力は320PSIA(2.2MPaA)。耐圧は400PSIA(2.7MPaA)。混合ガスにも対応！納期6-8週間。

    【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRQシリーズ（高圧タイプ） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT マスフローコントローラー MCE (SEMI規格)

    SEMI規格対応バルブ内蔵タイプのALICAT社製のマスフローコントローラー。納期6-8週間。

    【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRWシリーズ（高圧タイプ） ■MCE/MCESシリーズ（SEMI規格） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT マスフローコントローラー MCD（デュアルバルブ）

    バルブ2基搭載し双方向制御が可能。加圧や負圧、真空引きでの制御が行えます。腐食性ガスや低圧力損失対応モデル有。納期6-8週間。

    【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRQシリーズ（高圧タイプ） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT マスフローコントローラー MCV（真空）

    真空用シャットオフバルブ搭載のマスフローコントローラー。混合ガス対応！バックライト付き液晶表示器を標準搭載。納期6-8週間。

    【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRWシリーズ（高圧タイプ） ■MCE/MCESシリーズ（SEMI規格） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT マスフローコントローラーMCS（腐食性／冷媒ガス）

    高速応答・高速制御を実現！混合ガス対応！アナログ出力、RS-232C通信・バックライト付き液晶表示器を標準搭載。納期6-8週間。

    【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRWシリーズ（高圧タイプ） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT マスフローメーターMW（低圧力損失）納期4週間

    極めて小さな差圧で計測可能なマスフローメーター。 ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！双方向オプション対応。

    マスフロー【ラインアップ（抜粋）】 ■Mシリーズ（標準タイプ） ■MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MQシリーズ（高圧タイプ） ■MB/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター） ■PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT マスフローメーター MQ（高圧）

    ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までラインアップ。双方向オプション対応。納期6-8週間。

    【ラインアップ（抜粋）】 ■Mシリーズ（標準タイプ） ■MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MQシリーズ（高圧タイプ） ■MB/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター） ■PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT マスフローメーター MS（腐食性／冷媒ガス）

    ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までラインアップ。双方向オプション対応。納期6-8週間。

    【ラインアップ（抜粋）】 ■Mシリーズ（標準タイプ） ■MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MQシリーズ（高圧タイプ） ■MB/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター） ■PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT マスフローコントローラー MC（標準）納期4週間

    混合ガスを含め98種のガスに対応。積算オプションをつけることでバッチ制御も可能。

    マスフロー【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRQシリーズ（高圧タイプ） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT マスフローメーター Ｍ（標準）納期4週間

    ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。双方向オプション対応。

    【マスフロー　ラインアップ（抜粋）】 ■Mシリーズ（標準タイプ） ■MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MQシリーズ（高圧タイプ） ■MB/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター） ■PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT マスフローメーター MB(ポータブル) 納期4週間

    ラミナーフロー方式(差圧式)により高速応答を実現！少流量から大流量までの豊富な機種をラインアップ。双方向オプション対応。

    【ラインアップ（抜粋）】 ■Mシリーズ（標準タイプ） ■MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MQシリーズ（高圧タイプ） ■MB/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター） ■PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

  • ALICAT社製品マスフローラインナップ ： Air校正について

    ALICAT社(アリキャット)製　微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までラインナップ。双方向オプション。

    超微少流量(0.5SCCM)から大流量(12000SLPM)までラインナップ。 マスフローメーター ■Mシリーズ（標準タイプ） ■MSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MQシリーズ（高圧タイプ） ■MB/MBS/MWBシリーズ（ポータブルマスフローメーター） ■PCUシリーズ（ポータブルキャリブレーションユニット） マスフローコントローラー ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRQシリーズ（高圧タイプ） ■MCE/MCESシリーズ（SEMI規格：半導体装置向け高精度マスフローコントローラー） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載　真空用） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ■IS-Max シリーズ（本質安全防爆仕様） ■BIOシリーズ（バイオリアクター向け） ガスミキサー（MAP包装用等） ■MXM 精密ガスミキサー ■IMX 工業用ガスミキサー

  • ALICAT　バイオリアクター向け高精度マスフローコントローラー

    アリキャット BIOシリーズ！ 信頼性、適応性、互換性のあるフローコントロール。納期6-8週間。

    【ラインアップ】 ■MC/MCP/MCRシリーズ（標準タイプ） ■MCS/MCRSシリーズ（腐食性ガス／冷媒ガス対応） ■MCW/MCRWシリーズ（低圧力損失タイプ） ■MCQ/MCRQシリーズ（高圧タイプ） ■MCV/MCVSシリーズ（シャットオフバルブ搭載） ■MCD/MCRDシリーズ（デュアルバルブ） ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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