半導体ウエハ搬送容器
多様なウエハ、様々な工程に対応する製品を豊富にラインアップ！
当製品は、進化を続ける半導体産業の基盤であるウエハをクリーンかつ 安全に移送する容器です。 50-300mmまでのウエハサイズ、ガラス、化合物などの多様な材質や、 近年増加している薄物ウエハにも豊富なラインアップを保有。 有機無機の汚染やパーティクルの発生が極めて少なく、振動・衝撃にも強い、 信頼性の高いウエハ輸送容器を提供してまいります。 【特長】 ■落下・振動にも強い独自のクッション構造を採用 ■ガスケット構造の採用により、優れた気密性を確保 ■シンプルな部品構成で取扱操作や組立・分解も容易 ■視認性がよく、収納されたウエハの状況が確認できる ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【ラインアップ】 ■Σ-Series ■SS-Series ■CB-Series ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
