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超精密レーザー測長システム用光学部品 バーミラー

主に露光装置のX・Yステージの測長に使用されております。

『バーミラー』は、主に露光装置のX・Yステージの測長に使用されております。 バーミラーの加工精度がX・Yステージの性能に大きな影響を与えます。 材料は高純度合成石英、クリアセラムZ等低熱膨張ガラスを使用しております。 【特長】 ○材質:クリアセラム、合成石英 ○L寸法:100mm~800mm超 ○面精度:数μm~λ/10 ※素材、形状等詳細仕様につきましては、お気軽にご相談ください。

関連リンク - http://www.kadomikk.com/products/bar_mirror.htm

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超精密レーザー測長システム用光学部品 バーミラー

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カドミ光学工業では、合成石英、パイレックス、白板、BK7、水晶、クリアセラム等の材料を使用してレンズ、プリズム、石英平行平面基板、ウエッジ基板、ロッド、金属ミラー(Al、Au、Ag)、誘電体ミラー、バーミラー、波長板、偏光解消板、石英セル、マイクロフローセル、真空セル、フライアイレンズ、異形加工品、ガラス管内外径研磨品等多種多様な光学部品を製作、販売しております。製作数量は試作単品から対応しております。

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