自動XYステージ(ストローク100mm)
高精度自動XYステージを採用し、様々な検出器が搭載できる測定ユニット
自動XYステージの移動範囲は100ｍｍ×100ｍｍ。 高精度ステージを搭載した測定ユニットです。 ステージ制御をＰＣで行い測定位置までの移動、駆動プログラムより動作が可能です。 検出器の取付板を大きく設計しあらゆる検出器に対応（スペーサ別途）します。 検出器の上下の微調範囲は25ｍｍとなります。
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