測定器・変位センサ 改善事例集＜半導体業界編＞
ウェハZ軸位置決めや、ウェハ厚み測定などの改善事例をご紹介！
基本情報
【その他の掲載事例】 ■スパッタリングターゲットの磨耗量測定 ■真空チャンバ内アーム曲がり測定 ■モールド前のチップの高さ測定 ■XYステージの位置決め ■スピナーの偏心測定 ■ウェハの平行度測定 ■搬送フォーク上のウェハの位置測定 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
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