【資料】超音波センサ アプリケーション集 vol.3
ガラスウェハ通過検出や斜めからのウェハ検出などの事例を掲載!
当資料は、超音波センサ「FWシリーズ」の電機・電子・半導体・ 液晶業界での解決事例を掲載しております。 搬送中のウェハ検出をはじめ、洗浄液のレベル制御、搬送工程の スリット基板検出、フープ材のテンションコントロールなど、 さまざまな事例を掲載。 センサヘッド、デジタルアンプ、オプションについてもご紹介しております。 【掲載事例】 ■搬送中のウェハ検出 ■洗浄液のレベル制御 ■搬送工程のスリット基板検出 ■フープ材のテンションコントロール ■ガラスウェハ通過検出 ■斜めからのウェハ検出 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
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価格帯
納期
用途/実績例
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