白色干渉計搭載レーザ顕微鏡『VK-X4000シリーズ』
トリプルスキャン方式×全自動多点測定！精度と自動化の両立、現場の課題をこれ一台で解決
『VK-X4000シリーズ』は、レーザー共焦点・白色干渉・フォーカス バリエーションの3つの異なるスキャン原理を使い分ける「トリプル スキャン方式」を採用し、さまざまな対象物を高精度に測定・解析 することができる白色干渉計搭載レーザ顕微鏡です。 また、鏡面体・透明体といった難易度の高い素材に対しても高速・ 高精度・広範囲に測定することができます。 さらに複数の対象物でも誰でも簡単に全自動多点測定が可能なマルチ ポイント測定を新たに搭載。複雑な設定は不要で、多点測定を自動化。 作業時間を減らしながら測定サンプリング点数を増やすことで、 研究開発の客観的評価と信頼性を向上させます。 【特長】 ■3つのスキャン方式でさまざまな測定を高精度に ■複数の対象物でも誰でも簡単に全自動多点測定 ■ナノ・マイクロ・ミリをこれ1台で ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【オプション(一部)】 ■VKスペーサ ■電動XYステージ ■300mmウェハ対応ステージ ■傾斜ステージ ■超大型サンプルステージ ■分光膜厚ユニット ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
