ナノモーションステージ『ANT95Lシリーズ』
大きな移動量とナノメートルレベルの精度を同時に実現！高い動的性能をもつナノモーションステージをご紹介
『ANT95Lシリーズ』は、25mmを超える移動距離を持つ ナノメートルレベルの位置決めシステムです。 「ANT95L」および「ANT95L-PLUS」クロスローラーステージは、速度、 精度、分解能、再現性、信頼性、およびサイズを組み合わせる上で 最高クラスであり、2つの精度グレードで提供。 リニアステージは、最大5Gの加速度、500mm/sの速度、強化された負荷容量、 幅広い構成での使用を可能にする標準化されたユニバーサルベース 取り付けパターンを利用できます。 【特長】 ■大きな移動量とナノメートルレベルの精度を同時に実現 ■高解像度（1nm）、繰返し位置精度（75nm）、精度（250nm） ■1nm未満のインポジション安定性 ■クリープ防止クロスローラーベアリング ■高い動的性能 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他の特長】 ■Aerotechが開発した高度なダイレクトドライブ技術を利用 ■最高レベルの位置決め性能を実現 ■高性能、コギングなし、非接触、高速、高解像度、高精度を実現 ■滑らかで正確な動きによって、光学遅延素子の作動、センサーのテスト、要求される スキャンプロセスなどの多くのアプリケーションで利用が可能 ※英語版カタログをダウンロードいただけます。 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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用途／実績例
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