ピエゾアシストステージ
手動で制御する精密位置決めステージ
ピエゾアシストステージとは20nmという最小分解能でかつ粗動(mmオーダー)を備えた微動粗動手動ステージです。 主な用途はテーブルの精密位置決めや微小荷重のコントロールを要する用途（ナノインデンテーション）でも容易に実現できる手動精密ステージです。 大きさもコンパクトで簡単に持ち運びすることができ、使用方法もとても簡単です。 低予算で導入することができるリーズナブルな商品です。（*1nm=10億分の1m)
基本情報
ピエゾアシストステージの動作原理 ■装置の構成 ピエゾアシストステージはステージの粗動機構としてマイクロメータを、微動機構としてピエゾアシスト機構をX軸,Y軸にそれぞれ持っています。 ピエゾアシスト機構には弊社ピエゾアクチュエータが内蔵されており、その伸縮機構によって精密な位置決めを実現しています。 マイクロメータは稼動範囲が最大13mmあり、10μmの分解能で位置決めができます。ピエゾアシストは稼動範囲が約35μmで20nmの分解能で位置決めができます。 ピエゾアシストステージは、この二つの調整機構を併用することで最大13mmの稼動範囲で20nmの分解能の精密位置決めが可能となっています。
価格帯
1万円 ~ 10万円
納期
応相談
型番・ブランド名
MTPAシリーズ
用途／実績例
・オートフォーカス ・共焦点顕微鏡 ・半導体、FPD検査装置 ・画僧処理機器 ・レーザー加工 ・干渉計形状測定
詳細情報
取り扱い会社
専門技術とマーケティング能力を兼ね備えたスタッフが、レーザーをはじめとする最新鋭機器を世界中から探し出し、日本のみなさまにご提供申し上げます。みなさまとともに、21世紀を歩み続けていきたい。キーストンインターナショナルの願いです。
