株式会社ケーエヌエフ・ジャパン KNF JAPAN 公式サイト

コンパクトサイズで高いポンプ性能を実現。ウェーハ製造をサポート。

【特長】 ・閉ループ真空制御 ・設定可能なポンプインターフェースと性能 ・汚染のない流量 ・カスタマイズ対応可能 ・メンテナンスフリー ・設置位置を問わず動作可能 ・長寿命 ・高い空気圧性能 ・コンパクトサイズ／高出力密度 ・高い耐結露性 【当社の強み】 KNFは、ダイアフラムポンプ技術を核に、お客様の課題解決に特化したソリューションを提供しています。半導体製造プロセスにおける真空制御の課題に対し、長年の経験と専門知識に基づき、最適な製品とサポートを提供します。お客様の成功こそが当社の目指すところです。

コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現

【特長】 ・基本流量 1.2 l/min (DC 6V) / 2.4 l/min (DC 12V) / 2.6 l/min (DC 24V) ・到達真空度 55 mbar abs ・耐食仕様 EPDM / FKM / PTFE ・ポンプヘッド材質 PPS ・ポンプ専用に開発したKNF製ブラシレスDCモータ

コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現

【特長】 ・基本流量 34 l/min ・到達真空度 25 mbar abs ・許容最大吐出圧 0.3 bar (0.03 MPa) ・耐食仕様 PTFE / FKM ・ポンプヘッド材質 プラスチック ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・ポンプ専用に開発したKNF製ブラシレスDCモータ

コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現

【特長】 ・基本流量 34 l/min ・到達真空度 25 mbar abs ・許容最大吐出圧 0.3 bar (0.03 MPa) ・耐食仕様 PTFE / FKM ・ポンプヘッド材質 プラスチック ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・ポンプ専用に開発したKNF製ブラシレスDCモータ

コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現

【特長】 ・基本流量 35 l/min ・到達真空度 25 mbar abs ・許容最大吐出圧 0.3 bar (0.03 MPa) ・耐食仕様 EPDM / FKM ・ポンプヘッド材質 プラスチック ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・ポンプ専用に開発したKNF製ブラシレスDCモータ

コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現

【特長】 ・基本流量 72 l/min ・到達真空度 140 mbar abs ・許容最大吐出圧 0.4 bar (0.04 MPa) ・耐食仕様 EPDM / FKM ・ポンプヘッド材質 プラスチック ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・ポンプ専用に開発したKNF製ブラシレスDCモータ

コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現

【特長】 ・基本流量 71 l/min ・到達真空度 140 mbar abs ・許容最大吐出圧 0.4 bar (0.04 MPa) ・耐食仕様 PTFE / FKM ・ポンプヘッド材質 プラスチック ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・ポンプ専用に開発したKNF製ブラシレスDCモータ

コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現

【特長】 ・基本流量 35 l/min ・到達真空度 25 mbar abs ・許容最大吐出圧 0.3 bar (0.03 MPa) ・耐食仕様 EPDM / FKM ・ポンプヘッド材質 プラスチック ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・ポンプ専用に開発したKNF製ブラシレスDCモータ

コンパクトサイズながら高いポンプ性能を実現

【特長】 ・基本流量 71 l/min ・到達真空度 140 mbar abs ・許容最大吐出圧 0.3 bar (0.03 MPa) ・耐食仕様 PTFE / FKM ・ポンプヘッド材質 アルミニウム ・タフな運転条件に耐える堅牢設計 ・ポンプ専用に開発したKNF製ブラシレスDCモータ