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半導体作業向けの超クリーンサプライポンプとリターンポンプ

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株式会社ケー・エヌ・エフ・ジャパン KNF JAPAN

キヤノンナノテクノロジーズ 社との緊密な協力により、KNF は過酷な条件に対応するポンプを開発。 KNF のサプライポンプとリターンポンプは、半導体産業において重要な役割を果たしています。キヤノンナノテクノロジーズ 社との緊密な協力により、KNF はこの業界の極端に高い要件求を満たすカスタムメイドのポンプを開発しました。イオン化しにくい特殊素材を使用することにより、超高純度な液体のハンドリングが可能で、メンテナンスが少なく、経済的運用が可能な、超クリーンなポンプを提供することができました。

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