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【半導体向け】KFDシリーズ テープ研磨ユニット

機能性とデザインをリニューアル!基本性能はそのままに機能性を磨き上げました!

半導体業界では、デバイスの高密度化に伴い、基板やウェーハの平坦性が非常に重要になります。平坦性の低い表面は、製造プロセスにおける歩留まりの低下や、デバイスの性能劣化につながる可能性があります。KFDシリーズは、PLC制御による精密な研磨制御により、半導体製造における平坦化工程の課題解決をサポートします。 【活用シーン】 ・半導体ウェーハの平坦化 ・薄膜の研磨 ・CMP後の表面調整 【導入の効果】 ・面粗度管理の容易化 ・歩留まり向上への貢献 ・デバイス性能の安定化

関連リンク - http://www.kovax.com/

基本情報

【特長】 ・軽量、コンパクト設計 ・PLC制御を採用 ・乾式・湿式研磨が可能 ・研磨テープの取替作業が容易 ・操作部にタッチパネルを採用 【当社の強み】 お客様の要求を反映した研磨材・研磨装置を自社にて開発・製造。技術に磨きをかけて産業界の多様化するニーズに応えます。

価格帯

納期

用途/実績例

【用途】 ■自動車関連部品の研磨 ■OA機器関連部品の研磨 ■精密シャフトの研磨 ■その他金属・ゴム・ガラス・樹脂素材の精密研磨 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。

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取り扱い会社

株式会社コバックスは、地球にやさしく、自然エネルギーを取り入れながら、研磨布紙の更なる技術革新、技術開発をはかり、さらに研磨自体を、”もっとらくに、もっとたのしく” 出来るようにと、研磨機の技術開発にも精力的に進めています。 株式会社コバックスは経営理念として”もっとらくに、もっとたのしく、もっとゆたかに”を掲げています。 お客様とともにかく有りたいというのが第一義ですが、社内にあっては、社員一人ひとりが自分の適性を生かし、能力を最大限に生かすことで、社業の発展と社員の充実した生活とを共に達成することを目的とし、そこに働きがいを持てるような自由闊達な雰囲気の会社を目指しています。 株式会社コバックスは、今後も皆様のご支援のもと、自らの創造力で変化を先取りし、たゆみない技術開発の努力を続けます。そして、企業体質の強化に一層の努力を重ね、社員の豊かな生活と社業の発展を果たすとともに、多様化・高度化する産業界のニーズに応える所存です。