半導体製造工程用 高耐熱+高透明PEEKフィルム「EXPEEK」
200℃以上でも熱収縮率が低く、370nm以上の波長光を透過できる「耐熱性」と「透明性」を兼ね備えた特殊耐熱フィルム！
半導体製造工程ではウェハ保護用の耐熱テープが使用され、その基材として、主にPETなどポリエステル系フィルムが使用されています。 最近では半導体の新製品開発や、製造工程の最適化のため従来よりも高耐熱性（200℃以上）がテープに求められるケースが増えてきておりますが、ポリエステル系では耐熱性が足りず、また耐熱フィルムのポリイミドでは透明性が損なわれるという課題がありました。 クラボウでは、半導体製造における200℃以上の高温プロセスにも適用できる耐熱性と透明性を兼ね備えたPEEKフィルム「EXPEEK」を開発。製造工程の設計自由度アップに寄与できるため、半導体メーカーやテープメーカーから注目を集めているフィルムです。 【特長】 ■高温環境下でも寸法変化が非常に小さいフィルム ■高耐熱：200℃以上でも熱収縮率が低い、融点 343℃、Tg(TMA)320℃ ■高透明：全光線透過率83%、UVは370nm以上から透過 ■低吸水性：0.07% ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
基本情報
【その他特長と仕様】 ■ヘーズ4%と高透明を実現 ■表面平滑性に優れる ■低誘電性：比誘電率3.07(10GHz)、誘電正接0.003(10GHz) ■厚み：12μm、25μm、50μm ■幅：Max1,600mm ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
価格帯
納期
用途／実績例
【用途】 ■耐熱・耐薬ラベル ■半導体工程ウェハ保護テープ基材 ■ガラス代替透明基板 ※詳しくはPDF資料をご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
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取り扱い会社
クラボウグループは、1888年の創業以来、いつの時代も常に一歩先を見据え、新たな挑戦をすることで、新しい価値の創造に挑み続けてきました。現在では、暮らしを支える繊維、自動車、住宅、食品や、産業を支えるエレクトロニクス、半導体、環境プラント、バイオメディカル、工作機械など幅広い分野に事業領域を展開。人々や社会を豊かにする製品やサービスの提供を目指し、その実現に取り組んでいます。 私たちの原動力は、“世界を驚かせるような、社会に貢献する新しい価値を生み出すこと”への想い。これをもとに、クラボウグループが今まで蓄積してきた多様な事業分野でのコア技術を、より高度化・複合化することで、イノベーションや新たなスペシャルティ事業の創出に努め、人と社会を次の世代へと結ぶ企業として、これからも成長・発展し続けてまいります。 ■事業領域 ・繊維事業 ・化成品事業 ・環境メカトロニクス事業 （エレクトロニクス分野、エンジニアリング分野、バイオメディカル分野 工作機械分野） ・食品・サービス事業 ・不動産事業
