【資料】小型・高密度コネクタソリューション

今後の更なる半導体製造装置の進化に対して小型高密度製品で「お客様のダウンサイジング・省スペース化の課題を解決」いたします。

レモの高ピン密度丸型コネクタはアプリケーションの使用スペース、装置の小型化と関連コストの最適化を可能とします。標準の低電圧コンタクトに加えて、広い範囲の現存する複合構成商品を提供出来ます。これにより、同軸、高電圧、光ファイバーと低電圧コンタクトを同一コネクタ内に複合化出来ます。主なアプリケーション分野： ■ スパッタリング装置 ■ ドライエッチング装置 ■ 露光装置用温度測定器 ■ 測長SEM他検査測定装置

関連リンク - https://www.lemo.co.jp/

基本情報

レモ社は、日本の半導体製造装置アプリケーション分野で20年以上の実績を持っています。レモコネクタの特徴を活かし、ステッパーからロボット化した試験装置といった幅広いレンジの半導体製造装置でレモコネクタをご使用いただいております。主なアプリケーション分野：高密度 ■ スパッタリング装置 ■ ドライエッチング装置 ■ 露光装置用温度測定器 ■ 測長SEM他検査測定装置高電圧 ■ イオン注入装置 ■ 高電圧・高周波電源装置 ■ PZT駆動装置 ■ 測長SEM他検査測定装置気密（高真空）仕様 ■ ウェハハンドリング ■ セラミックヒータ ■ 電子ビーム描画装置 ■ 真空チャンバー　 ■ 測長SEM他検査測定装置耐高温/耐熱性 ■ セラミックヒータ ■ ドライエッチング装置 ■ マスフローコントローラ ■ モールド装置 ■ 露光装置光源小型同軸 ■ 電子ビーム描画装置 ■ 測長SEM　他　検査測定装置 ■ PZT駆動装置 ■ 各種センサ詳しくはお問い合わせ、または資料をダウンロードしてください。

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レモの高ピン密度丸型コネクタはアプリケーションの使用スペース、装置の小型化と関連コストの最適化を可能とします。標準の低電圧コンタクトに加えて、広い範囲の現存する複合構成商品を提供出来ます。これにより、同軸、高電圧、光ファイバーと低電圧コンタクトを同一コネクタ内に複合化出来ます。主なアプリケーション分野： ■ スパッタリング装置 ■ ドライエッチング装置 ■ 露光装置用温度測定器 ■ 測長SEM他検査測定装置

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【資料】小型・高密度コネクタソリューション装置・機器の小型化における課題と対策

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レモジャパンは、スイス本社から100％の出資を受けている外資系企業です。レモジャパンは世界で最も品質基準の厳しい日本国内のお客様の為に、LEMOが世界で誇る高性能・高信頼性コネクタを取り扱い、さらにお客様の目線に立ったサービスの提供や、納期の対応をするべく拠点を設けております。品質維持と品質向上のために、2002年にISO9001を、2004年にISO14001を取得。さらに2005年にはソニー株式会社様のグリーンパートナーとして認定されました。スイス本国のコネクタ販売以外にも、お客様のニーズに合わせた特殊コネクタの開発やケーブルアッセンブリの対応にも力を入れております。レモジャパンは日本国内に自社工場を保有し、コネクタの選定・ケーブルの選定は基より、部材調達・組立・検査を一貫して行える体制を整えております。レモジャパンの強みは、レモのグローバルネットワークを利用し海外からも多種多様なコネクタ関連の製品調達やケーブル調達が出来ることです。お客様のニーズにお応えするために幅広い選択肢を持ち、最も適したコネクタソリューションを提供し続けています。

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