プラズマ装置 総合カタログ 洗浄 改質
研究開発用からプロセス用まで表面処理・改質等のニーズにお応えします！
当カタログでは、研究開発用はもとよりプロセス用まで、ニーズに 対応したプラズマ装置をご紹介しております。 平行平板型標準機「PDCシリーズ」をはじめ、バレル型プラズマ処理装置 「PR500/510」、小型プラズマ装置「PM100/PR200」などを掲載。 プラズマ装置は、シリコンウエーハのレジスト剥離、有機膜の除去、 界面活性、マイクロ研磨、あるいはカーボン被膜の除去等、 広くその効果を発揮しています。 【掲載内容(一部)】 ■プラズマ装置の概要 ■製品ラインアップ ■平行平板型標準機「PDCシリーズ」 ■バレル型プラズマ処理装置「PR500/510」 ■小型プラズマ装置「PM100/PR200」 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【その他の掲載内容】 ■大容量バレル型装置「PB600/1000」 ■大容量平行平板型装置「V1000」 ■ユーティリティ関連製品 ■関連製品 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
ヤマト科学
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
