半導体特性評価システム
パッケージレベルとウェーハレベルで複数のDUTを一括処理！FET単体トランジスタ特性からTDDB評価にも対応
『AMM-2000』は、高精度な測定・評価により、信頼性を追求した 半導体特性評価システムです。 パッケージレベルからウェーハレベルまでを高精度な電圧・電流印加と FET単体トランジスタの電気的特性および継続的変化を測定し、故障原因の 解明に重要な役割を果たします。 ウェーハの大口径化、微細化・高集積化により信頼性評価の重要性も 飛躍的に高まってきています。 【特長】 ■パッケージレベルとウェーハレベルで複数のDUTを一括処理 ■高精度な電圧・電流印加と測定を実現 ■FET単体トランジスタ特性からTDDB評価にも対応 ■ソフトでピンアサイン変更 ■SMU1端子でFET酸化膜の絶縁破壊測定が可能 ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
基本情報
【その他の特長】 ■1台のPCですべての試験を一元管理 ■解析用アプリケーションソフトウェアを用意 ■試験開始時の静電破壊を回避 ■専用のDUTボード ■プローブカード(オプション) ※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
型番・ブランド名
エスペック『AMM-2000』
用途／実績例
※詳しくはPDFをダウンロードしていただくか、お気軽にお問い合わせください。
