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FPD関連事業、半導体関連事業におけるEMSに多数の実績を有しております。国内最大級のクリーンルームを活用してお客様のご要望にお応えいたします。 ■FPD関連事業 国内最大級のクリーンルームを備え、「第10世代以上の大型ガラス基板」に対応した製造装置のEMSによる生産を行っています。 さらに、LCDだけでなくPDP、有機EL等の他のFPD用製造装置のEMSも可能です。 ・塗布装置　・真空乾燥装置 ・露光装置　・搬送装置　 ・検査装置／その他 ■半導体関連事業 幅広い技術力と短納期に対応した生産管理体制および高い信頼性を誇る品質管理体制を構築しており様々な装置開発を行っています。 ・ウェーハポリッシング装置　・プラズマエッチンジ装置 ・プラズマッシング装置　・レーザーマーカー ・ウェーハボンダー　・各種ウェーハ検査装置 ・洗浄装置／その他 ※詳細は資料請求して頂くかダウンロードからPDFデータをご覧下さい

■FPD関連 ・塗布装置 ・真空乾燥装置 ・露光装置 ・搬送装置 ・検査装置／その他 ■半導体関連 ・ウェーハポリッシング装置 ・プラズマエッチンジ装置 ・プラズマッシング装置 ・レーザーマーカー ・ウェーハボンダー ・各種ウェーハ検査装置 ・洗浄装置／その他

フラットパネル・半導体関係の各種装置の設計・製作