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ホワイトペーパー『半導体業界における水の測定、制御、改善』

水質モニタリングやリサイクルの重要性などを解説した資料進呈。測定値を毎秒更新できるTOCセンサも紹介

本資料は、半導体製造プロセスで使用される超純水・純水の 水質モニタリングに関するホワイトペーパーです。 代表的な純水分配システムや、 排水の回収・リサイクル・再利用を検討するべき理由などについて、 当社のTOCセンサ「6000TOCi」の特長や導入効果を交えて解説しています。 【掲載内容(抜粋)】 ■半導体製造施設における水の使用量 ■排水処理施設の課題 ■水再生戦略 ■排水の測定・制御・分離・収集 ※詳しい内容は「PDFダウンロード」よりご覧いただけます。  製品に関するお問い合わせもお気軽にどうぞ。

関連リンク - https://www.mt.com/jp/ja/home/products/Process-Ana…

基本情報

【TOCセンサ「6000TOCi」特長】 ■TOC変化の迅速な検知が重要な純水アプリケーションに好適 ■測定値を毎秒更新するリアルタイム測定で、変動を見逃さないデータを提供 ■実績のあるUV技術と高精度の導電率センサにより、再現性のある正確な測定が可能 ■高度なシステム診断により、効果的なTOC測定を保証 ■わずか8.5mL/minの流量で動作する水効率の高いセンサにより、高価な水の使用を抑制 ※詳しくは資料をご覧ください。お問い合わせもお気軽にどうぞ。

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