【分析事例】UVセンサ AlGaN中不純物濃度の高精度評価 公開しました
一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
SIMS分析において、より確かな濃度定量値を算出するには測定サンプルと組成の近い標準サンプルを用いることが不可欠です。 紫外LEDやUVセンサに用いられるAlGaNについて、Al含有量に応じたAlGaN標準試料を幅広く取り揃えたことで、より高精度にAlGaN中不純物濃度を求めることができるようになりました。 UVセンサのSIMS分析を行い、ドーパントであるSi濃度を定量した事例を紹介します。 ★★★★★★★★★★★★★★★★★ 分析データはリンク先をご覧ください ★★★★★★★★★★★★★★★★★
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様々なAl組成のAlGaN標準試料ラインアップを拡充しました。詳細データはこちらからご覧ください。
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