「TOF-SIMSデータ解析法 MSDMのご紹介 」を公開
一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
MSTホームページにて、「TOF-SIMSデータ解析法 MSDMのご紹介 」を公開しました。 TOF-SIMSは試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。 また、スパッタイオン源を用いて深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。 深さ方向分析で得られる情報は非常に膨大ですが、深さ・質量・スペクトル強度の情報を可視化することにより精度の高い解析を可能とした「MSDM」をご紹介します。 詳細はMSTホームページをご覧ください。 http://www.mst.or.jp/
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TOF-SIMSは試料表面の構造解析を行う手法です。他の分析装置に比べ表面に敏感であることから、最表面の有機汚染の同定などに適した手法です。
また、スパッタイオン源を用いて深さ方向に無機・有機物の分布分析が可能です。
深さ方向分析で得られる情報は非常に膨大ですが、深さ・質量・スペクトル強度の情報を可視化することにより精度の高い解析を可能とした「MSDM」をご紹介します。