2017年12月21日
一般財団法人材料科学技術振興財団 MST
MSTホームページにて、下記分析事例3件を公開しました。 ・TOF-SIMSによる粉体粒子表面の分布評価 ・TDSによる有機膜の熱処理温度依存性評価 ・TDSによるレジスト膜の脱ガス評価 詳細はMSTホームページをご覧ください。 http://www.mst.or.jp/
一粒の粉体表面に分布する成分の評価が可能
詳しくは資料をダウンロード、またはお問い合わせください。
TDSにより有機膜からの脱ガス成分評価、温度依存性評価が可能です
詳しいデータはカタログをご覧ください
試料のベーク温度の違いによる脱ガスの変化をTDSで確認できます
