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厳しい環境下でも高精度位置検出

【1】真空中での高精度リニアスケール ●80MPa 耐圧ステンレスロッド ●非接触・高精度（分解能0.5μm）に計測 ●最長7600mm、複数位置同時計測可 【2】搬送機での多位置検出 ●最大20箇所の位置の変位を同時計測 ●最長20m ●多彩なインターフェース+故障診断機能搭載 【3】振動・衝撃のある機械での高精度位置検出 ●耐振動30G、耐衝撃100G、分解能 0.5μm ●繰り返し精度 ±0.001% F.S. ●応答速度 10kHz 【4】薬液・油液中での高精度位置検出 ●本質安全防爆・耐圧防爆・サニタリー仕様 ●液面・境界面・温度を同時計測 ●SUS316L/304、ハステロイ、テフロン 【5】高温下での高精度位置検出 ●ヘッド部（電気回路）まで全て105℃対応+ネットワーク対応 （105℃以上はご相談下さい）

分解能0.5μｍの精度を非接触計測で実現。リニアスケール

【特長】 ●非接触で摩擦がなく、水、油、埃に強い ●アブソリュート（絶対位置計測、原点復帰不要） ●高精度　分解能0.5μｍ〜、最長20ｍまで測定可能 ●同時に最大20箇所までの位置、速度を計測 ●高耐圧・コンパクト：油圧シリンダに内蔵可能 ●移動速度の検出も可能 ●応答速度 10kHz ●耐振動 30G ●防爆対応 〔タイプ〕 ○耐圧ステンレス鋼ロッドセンサ 　油圧対応タイプ ○アルミ製プロファイル 　産業用の堅牢タイプ ○フレキシブルロッドセンサ 　応用が利く、多機能産業用センサ ※詳細は資料請求またはダウンロードからお問い合わせください。

バス接続可能で、高精度＋堅牢なリニアスケール

1. アブソリュート計測 2. 磁気を検知するため、マグネットとセンシングエレメント間は非接触。 3. 1本のセンサで20箇所の位置を同時計測 4. 最長計測長20m 5. 耐振動30G、耐衝撃100G 6. 防水性能　IP68/IP69K 7. ロッド耐圧 最大80MPa 8. バス接続　CAN、Profibus、EtherCAT、EtherNet/IP、Profinet 9. SUSロッド製で、水、油、埃の影響を受けない。

フレキシブルリニアスケール 最大20mまでの測長が可能

【特長】 1. 計測範囲: 100mm-最大20m 2. 曲線の計測が可能：最小曲げ半径 測長時 250mm 3. 直線性 0.02%F.S. 4. 繰り返し精度 0.0025mm 5. 同時に最大20か所の位置を計測、または、5か所の位置+5か所の速度を計測 6. 多様なインターフェースに対応: アナログ、SSI、CANbus、Profibus、EtherCAT、Ethernet/IP、Profinet 7. バス接続可能 8. 防水チューブの装着が可能（オプション）

過酷な産業環境下での連続使用に

【特長】 1. アブソリュート計測で、立ち上がり時の原点復帰不要 2. Class I、II、III、Division 1、2、Group A、B、C、D、E、F、GならびにZone 0/1、21および22 3. ATEX、IECEx、CEC、NEC、EAC Ex、日本国内防爆認証 4. 保護等級 IP66、IP67、IP68、IP69K、NEMA（詳しくはお問い合わせください。） 5. 動作温度範囲 標準品：-40～+75℃、SIL 2 (IEC 61508) 対応品：-40～+85℃ 6. 出力：アナログ 4-20mA、CANbus 7. 最長計測長7620mm

厳しい環境下でも高精度位置検出

【特長】 1. アブソリュート計測で、立ち上がり時の原点復帰不要 2. 分解能 0.5μm 3. 最長計測長7600mm 4. 耐振動30G、耐衝撃100G 5. 直線性 ±0.01%F.S.以下 6. 多彩なインターフェース（アナログ、SSI、CAN、Profibus、EtherCAT、EtherNet/IP、Profinet RT） 7. 防水性能　IP68/IP69K 8. 耐圧防爆対応ハウジング（ATEX/UL/cUL） 9. リダンダントで多重化に対応 10. シリンダに内蔵可 11. 水、油、粉塵の影響を受けない

振動・油・埃に強く、メンテナンスフリー

【特長】 1. アブソリュート計測 2. 非接触検出 3. 1本のセンサで最大20箇所の位置を同時計測 4. 分解能 0.5μm 5. 最長計測長20m 6. 耐振動30G、耐衝撃100G 7. 防水性能　IP68/IP69K 8. ロッド耐圧 最大80MPa 9. 直線性 ±0.01%F.S.以下（直線性補正オプションあり） 10. 応答速度 10kHz 11. 多彩なインターフェース（アナログ、SSI、CAN、Profibus、EtherCAT、EtherNet/IP） 12. SUSロッド製で、水、油、埃の影響を受けない 13. シリンダ内蔵可

高い精度と優れた環境耐性を実現

【特長】 1. アブソリュート計測で、立ち上がり時の原点復帰が不要 2. 非接触検出 3. 分解能 0.5μm、直線性 ±0.01%F.S.以下 4. 耐振動30G、耐衝撃100G 5. 防水性能　IP68/IP69K 6. 外付けタイプ、シリンダ内蔵タイプあり 7. 水、油、粉塵の影響を受けない 8. 多彩なインターフェース（アナログ、SSI、CAN、Profibus、EtherCAT、EtherNet/IP、Profinet）

振動・油・埃に強く、金属加工機、プレス機などに使用可能

【特長】 1. アブソリュート計測 2. 磁気を検知するため、マグネットとセンシングエレメント間は非接触 3. 1本のセンサで20箇所の位置を同時計測 4. 分解能0.5μm 5. 最長計測長20m 6. 耐振動30G、耐衝撃100G 7. 防水性能　IP68/IP69K 8. ロッド耐圧 最大80MPa 9. 直線性 ±0.01%F.S.以下（直線性補正オプションあり） 10. 応答速度 10kHz 11. 多彩なインターフェース（アナログ、SSI、CAN、Profibus、EtherCAT、EtherNet/IP, Profinet RT） 12. SUSロッド製で、水、油、埃の影響を受けない 13. シリンダ内蔵可

厳しい環境下で高精度に位置検出

【1】産業用イーサネット対応 ・EtherNet/IP、Profinet RT、EtherCATに対応 ・ケーブル配線を減らし、システム全体のコストを抑制 ・計測範囲 最長10m ・多様なセンサ形状から選択可能： ロッド／プロファイル（レールガイド）タイプ、 フレキシブルタイプ、センサーヘッド分離型タイプなど 【2】真空中/油圧での高精度位置検出 ・80MPa 耐圧ステンレスロッド ・非接触・高精度（分解能0.5μm）に計測 ・計測範囲 最長7600mm ・複数位置同時計測可 【3】防水対応タイプ ・オールステンレスハウジング ・防水性能 IP68/IP69K ・耐衝撃 100G ・耐振動 15G ・繰り返し精度 0.001% F.S. ・粉塵や油にも強い 【4】長尺位置検出 ・フレキシブルタイプ 計測範囲 最長20m ・多彩なインターフェースに対応 ・複数位置同時計測可 【5】防爆対応タイプ ・ATEX本質安全防爆、ATEX/TIIS耐圧防爆対応 ・多機能、高精度に位置、液面を計測