ウエハーリング洗浄機【イレザックシリーズ】
環境に配慮したバイオエタノール洗浄剤をかけながらブラッシング洗浄!
ウエハーリングの表裏の接着剤の残りやコンタミ洗浄が可能! 洗浄ブラシを各種用意し、目的に応じて組み換えが可能! バイオエタノール洗浄剤使用し、環境に配慮! 洗浄後は温風で乾燥します!
基本情報
【EREZAK】 メーカー:エアロピュア ・ウエハーリング:MAX外径400mmまでの各種 ・洗浄時間:5~10sec/ケ 連続洗浄可能 ・電源:AC100V ・洗浄ローラー:φ25~φ50mm ※詳しくはお気軽にお問い合わせください。
価格帯
納期
用途/実績例
・ウエハーリング洗浄から乾燥